．stn-lcd、tft-lcd、oled或pdp之cog或olb制程前的ito电极表面清洁

．cof (ilb) 或cob制程的电极表面清洁

．lcd或oled的玻璃清洁

．ic封装（flip chip， csp，等离子机， bga， tcp， or lead frame， etc.）或led封装的表面清洁或改质

．pcb的表面清洁、活化、改质或去残胶

．晶圆的表面清洁或去光阻

等离子体技术行业应用

等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的'活性'组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

等离子体对塑料、橡胶材料表面改性处理通过低温等离子体表面处理，材料表面发生多种的物理、化学变化，低温等离子表面处理机，或产生刻蚀而粗糙，等离子，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团，使亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能分别得到改善。等离子体对硅橡胶进行表面处理，结果n2、ar、o2、ch4-o2及ar-ch4-o2等离子体均能改善硅橡胶的亲水性，其中ch4-o2和ar-ch4-o2的效果更佳，且不随时间发生退化。

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于ji活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，低温等离子设备，但物质在总体上仍保持电中性状态。

等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的'活性'组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。